非接觸式三維輪廓儀也叫光學(xué)3D表面輪廓儀、白光干涉儀、光學(xué)輪廓儀等，是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精細(xì)表面輪廓測(cè)量?jī)x器。

功能

角度處理：兩直線夾角、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角

點(diǎn)線處理：兩直線交點(diǎn)、交點(diǎn)到直線距離、交點(diǎn)到交點(diǎn)距離、交點(diǎn)到圓心距離、交點(diǎn)到點(diǎn)距離

圓處理：圓心距離、圓心到直線的距離、交點(diǎn)到圓心的距離、直線到切點(diǎn)的距離

線處理：直線度、凸度、LG凸度、對(duì)數(shù)曲線

主要用于對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行納米級(jí)測(cè)量，儀器通過測(cè)量干涉條紋的變化來測(cè)量表面三維形貌，用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測(cè)量。

主要測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。